Penubuhan awal Mahkamah Syariah adalah berdasarkan kepada Seksyen 37 Enakmen pentadbiran Perundangan Islam No. 2 Tahun 1989 (kini dipinda kepada Seksyen 55 (1) Enakmen Pentadbiran Agma Islam Negeri Selangor Tahun 2003) yang dikenali sebagai Mahkamah atau Pejabat Kadi.

Pada 1 September 1991, Kerajaan Negeri telah meluluskan perjawatan Hakim Mahkamah Rendah Syariah dan DYMM Sultan telah berkenan untuk melantik 4 orang Hakim Mahkamah Rendah Syariah bagi menjalankan tugas serta menyelesaikan kes-kes Jenayah dan Mal orang-orang Islam seluruh negeri Selangor di 11 buah Mahkamah Syariah. Pada tahun yang sama, Pejabat Agama Islam dan Pejabat Kadi telah diasingkan pentadbiran dan pengurusannya.

Ketika itu, masih tiada pengasingan persempadanan antara daerah Gombak dan Hulu Selangor. Kes-kes syariah di Daerah Hulu Selangor dikendalikan di Mahkamah Rendah Syariah Gombak/Hulu selangor. Kemudian, Yang Arif Tuan Haji Mohd Nahrawi bin Haji Mohd Salleh telah dilantik sebagai Hakim Mahkamah Rendah Syariah Gombak untuk mengendalikan kes di Daerah Hulu Selangor dan Gombak.

Setelah beberapa tahun beroperasi, telah berlaku pemisahan persempadanan bidangkuasa di antara Mahkamah Rendah Syariah Gombak Timur, Gombak Barat dan Hulu Selangor. Kini, Mahkamah Rendah Syariah Hulu Selangor hanya mengendalikan kes di daerah Hulu Selangor sahaja dan lokasi lamanya terletak di Taman Arif Utama, Kuala Kubu Bharu Selangor. Ketika itu kakitangan Mahkamah hanya terdiri daripada seorang Hakim Syarie, seorang Penolong Pendaftar, seorang Pembantu Penolong Pendaftar, seorang Penghantar Saman dan seorang Setiausaha Pejabat.

Pada 1 Mac 2013, Mahkamah Rendah Syariah Hulu Selangor telah berpindah ke bangunan baru dan kini beroperasi di Jalan Tun Salleh Ismail, Kuala Kubu Bharu. Sehingga kini terdapat seramai 12 orang kakitangan yang ditempatkan di lokasi ini.

Berdasarkan kepada maklumat yang diperolehi, antara Hakim-hakim Syarie yang pernah ditugaskan dilokasi ini ialah:

1. Dato' Hj. Mukhyuddin Bin Ibrahim
2. Tn. Zainor Rashid Bin Hasan
3. Tn. Fauzi Bin Ismail
4. Tn. Khairul Anwar Bin Ahmad
5. Tn. Mohd Sohibul Kahfi Bin Hussin
6. Tn. Abdul Halim Bin Abu Samah